| Металлизация ультрабольших интегральных схем Мочалов А.И. В данный момент этот товар отсутствует в продаже. Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь. Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области. |
Детальная информация
Издательство
Бином, Россия, все товары
Издательство «Бином» — признанный лидер в области научной, справочной и учебной литературы. В ассортименте художественная, познавательная, прикладная, учебная и профессиональная литеоратура. Компания специализируется на учебниках по информатике, компьютерным дисциплинам, математике, физике, химии, медицине, экономике, автоматике и системах управления. С момента своего основания в 1990 году, издательство «Бином» утвердилось на книжном рынке как надежный партнер, предоставляющий... |
Авторы
Разделы товара
%text%