flip.kz / Книги / Техническая литература / Электроника. Радиоэлектроника. Связь / Автоматика. Телемеханика

Металлизация ультрабольших интегральных схем

Мочалов А.И.

В данный момент этот товар отсутствует в продаже.
Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь.

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Детальная информация
Издательство
Переплет
Твердый переплет, 277 страниц
Размер (в x ш x т)
222 x 150 x 15 (средняя)
ISBN
978-5-94774-904-5
Тираж
1000 экз.
Язык
Русский
Код товара
102252
Авторы
Разделы товара
Информация
Данного товара сейчас нет в наличии
Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь.