Металлизация ультрабольших интегральных схем

Мочалов А.И.

В данный момент этот товар отсутствует в продаже.
Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь.

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Детальная информация
Издательство
ISBN
978-5-94774-904-5
Переплет
твердый переплет
Количество страниц
277
Язык
Русский
Дата выхода
2011
Тираж
1000 экземпляров
Иллюстрированная
нет
Высота издания
222 мм
Ширина издания
150 мм
Толщина издания
15 мм
Код товара
102252
Издательство

Бином, Россия, все товары

Издательство «Бином» — признанный лидер в области научной, справочной и учебной литературы. В ассортименте художественная, познавательная, прикладная, учебная и профессиональная литеоратура. Компания специализируется на учебниках по информатике, компьютерным дисциплинам, математике, физике, химии, медицине, экономике, автоматике и системах управления. С момента своего основания в 1990 году, издательство «Бином» утвердилось на книжном рынке как надежный партнер, предоставляющий...
Авторы
Разделы товара
Информация
Поступлений данного товара не ожидается.
Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь.