Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

В. Ю. Григорьев, Е. В. Берлин

В данный момент этот товар отсутствует в продаже.
Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь.

За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников.
Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Детальная информация
Издательство
ISBN
978-5-94836-519-0
Переплет
твердый переплет
Количество страниц
464
Язык
Русский
Дата выхода
2018
Иллюстрированная
нет
Формат книги
70x100/16
Код товара
1201317
Издательство

Техносфера, Россия, все товары

Издательский центр "Техносфера" выпускает книги по актуальным направлениям точных, технических и естественных наук. Основную часть изданий составляют учебные пособия и учебники-монографии известных зарубежных и отечественных авторов. К отбору книг ведущих западных издательств привлечены авторитетные ученые институтов РАН, преподаватели многих вузов страны, специалисты российского ВПК. Особое внимание уделяется выпуску книг прикладного плана по новейшим направлениям, возникшим на стыке наук.
Авторы
Авторы
Разделы товара
Информация
Поступлений данного товара не ожидается.
Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь.