Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические примененияВ данный момент этот товар отсутствует в продаже. Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь. За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. |
Техносфера, Россия, все товары
Издательский центр "Техносфера" выпускает книги по актуальным направлениям точных, технических и естественных наук. Основную часть изданий составляют учебные пособия и учебники-монографии известных зарубежных и отечественных авторов. К отбору книг ведущих западных издательств привлечены авторитетные ученые институтов РАН, преподаватели многих вузов страны, специалисты российского ВПК. Особое внимание уделяется выпуску книг прикладного плана по новейшим направлениям, возникшим на стыке наук. |
Книги / Наука / Естественные науки / Физика
%text%