Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Мочалов А.И., Е. В. Данилкин, В. А. Галперин

Цена: 2 181 тг.
Никакого риска! Оплатить данный товар Вы можете при получении.
У нас есть бесплатная доставка по Казахстану.
Есть вопросы? Звоните 8 800 080 3547 (звонок бесплатный)

Серия: Нанотехнологии

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Детальная информация
Издательство
Переплет
Твердый переплет, 283 страниц
Формат книги
60x90/16
Размер (в x ш)
220 x 145 (средняя)
ISBN
978-5-9963-0032-7
Тираж
770 экз.
Язык
Русский
Код товара
160107
Авторы

, все книги

Кандидат технических наук, начальник лаборатории НПК «Технологический центр» Московского института электронной техники (МИЭТ). В составе группы отечественных ученых принимал активное участие в разработке технологий формирования наноструктурированных областей в кремнии и других функциональных слоях микро- и наноэлектроники с минимальной шириной элементов 15 нм.
Разделы товара
В корзину

Цена: 2 181 тг.

Под заказ
Планируемая дата
поступления
на склад: 11 августа

Количество: