Исаковка

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Мочалов А.И., Е. В. Данилкин, В. А. Галперин

В данный момент этот товар отсутствует в продаже.
Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь.

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Детальная информация
Издательство
Бином, 2010 г.
Переплет
твердый переплет, 283 страниц
Формат книги
60x90/16
Размер (В x Ш)
220 x 145 (средняя)
ISBN
978-5-9963-0032-7
Тираж
770 экз.
Язык
Русский
Код товара
160107

,  все книги

Кандидат технических наук, начальник лаборатории НПК «Технологический центр» Московского института электронной техники (МИЭТ). В составе группы отечественных ученых принимал активное участие в разработке технологий формирования наноструктурированных областей в кремнии и других функциональных слоях микро- и наноэлектроники с минимальной шириной элементов 15 нм.
Отзывы
Помогите другим пользователям с выбором — будьте первым, кто поделится своим мнением об этом товаре.
Отзывы могут оставлять только зарегистрированные пользователи интернет-магазина flip.kz войдите или зарегистрируйтесь что бы оставть отзыв

Разделы товара
Информация
Поступлений данного товара не ожидается.
Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь.