Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Киреев В.Ю., Столяров А.А.

В данный момент этот товар отсутствует в продаже.
Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь.

Серия: Мир электроники

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.
Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Детальная информация
Издательство
Переплет
Твердый переплет, 192 страниц
Формат книги
60x90/16
Размер (в x ш x т)
218 x 155 x 15 (средняя)
ISBN
5-94836-039-3
Тираж
1500 экз.
Язык
Русский
Код товара
91805
Разделы товара
Информация
Данного товара сейчас нет в наличии
Возможно, у нас найдется аналогичный или похожий товар здесь.