Технологии КМОП интегральных схем. Часть 1. От возникновения до нанометровых размеров элементов

Николай Алексеевич Шелепин

Серия: Мир микроэлектроники

«Технологии КМОП интегральных схем. Часть 1. От возникновения до нанометровых размеров элементов» — это книга о развитии технологий производства интегральных микросхем и уменьшении размеров транзисторов. Николай Алексеевич Шелепин прослеживает изменения в микроэлектронике через методы изготовления полупроводниковых структур и рассматривает, как менялись технологические подходы по мере перехода к всё меньшим размерам элементов. Издание посвящено производственным операциям, конструктивно-технологическим решениям и масштабированию КМОП-схем, поэтому подходит не только для последовательного изучения темы, но и для справочной работы. Ключевые темы и методики В основе изложения — последовательный разбор развития КМОП-технологии. Важное место занимают порядок производственных операций и инженерные методы, которые обеспечили дальнейшее уменьшение размеров элементов.

Материал объединяет несколько связанных направлений и позволяет увидеть, как эволюционировали технологические маршруты в микроэлектронике. Обработка кремниевых пластин — операции, применявшиеся на разных этапах развития производства. Формирование транзисторных структур — технологические решения и их изменения при переходе к меньшим размерам. Масштабирование — развитие способов изготовления элементов вплоть до нанометрового уровня. КМОП сверхбольшие интегральные схемы — особенности изготовления микросхем разных технологических уровней. Кому подойдёт книга Издание адресовано студентам старших курсов, магистрантам и аспирантам, специализирующимся в микроэлектронике. Книга также будет полезна научным работникам, инженерам и руководителям, связанным с разработкой, производством и применением интегральных микросхем. Её можно использовать при самостоятельном изучении темы, в учебной работе и как источник сведений о технологических маршрутах и способах формирования структур. Книга входит в серию «Мир микроэлектроники».